Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation

dc.contributor.author	Dürr, C.
dc.contributor.author	Singer, A.
dc.contributor.author	Sülzle, M.
dc.date.accessioned	2017-12-06T09:06:18Z
dc.date.available	2017-12-06T09:06:18Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.issn	0177-0454
dc.identifier.uri	http://dl.gi.de/handle/20.500.12116/8576
dc.description.abstract	Dr. C. Dürr, A. Singer, M. Sülzle EQUIcon Software GmbH Jena	de
dc.language.iso	de
dc.publisher	Gesellschaft für Informatik e.V.
dc.relation.ispartof	PARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware: Vol. 28, No. 1
dc.relation.ispartofseries	PARS: Parallel-Algorithmen, -Rechnerstrukturen und -Systemsoftware
dc.title	Grid-unterstützte E-Beam-Belichtungssimulation	de
dc.type	Text/Journal Article
mci.reference.pages	220-223
dc.identifier.doi	10.1007/BF03342006